Semiconductores

En semiconductores el grafito entra en el equipo de proceso, no en el lingote ni en la oblea. Los usos reales son susceptores y portadores de oblea en epitaxia y CVD, y piezas de zona caliente en crecimiento de cristal de silicio (Czochralski) y de SiC (PVT): calefactores, crisoles o soportes, escudos y piezas de forma.

Un dado de prensado en caliente, un liner de horno de temple o una pintura de desmoldeo para PVD no resuelven este proceso. El criterio es pureza, desgasificación y geometría estable en vacío o atmósfera inerte.

ESGRAF maquina componentes a plano a partir de grafito isostático de alta pureza y asesora la selección de grado según proceso, temperatura y contaminación admisible.

Aplicaciones con ESGRAF

• Susceptores, platos y barcos para epitaxia y CVD: sostienen y calientan la oblea.
• Calefactores, crisoles, escudos y soportes para pullers CZ y hornos de crecimiento de SiC.
• Copia de geometría a partir de plano o de pieza usada cuando la refacción original ya no está disponible.
• Aislamiento de cámara con fieltro de carbono o paneles CFC cuando la zona caliente lo requiere — no como liner de tratamiento térmico.

La selección equilibra pureza, tamaño de grano, resistividad (si la pieza calienta) y estabilidad dimensional. Un grado de horno industrial no sustituye un grado de alta pureza sin revisión.

Familias de producto recomendadas

• Grafito isostático / alta densidad — familia habitual para susceptores y piezas de precisión.
• Grafito extruido — perfiles y calefactores de sección constante.
• Maquinado de grafito — piezas terminadas a plano.
• Fieltro suave y paneles CFC — aislamiento de zona caliente cuando el equipo lo pide.

Si ya opera con un grado de referencia, ESGRAF puede comparar fichas y proponer una equivalencia disponible. La equivalencia se valida con ingeniería de aplicaciones; no se declara por nombre comercial solo.

Preguntas frecuentes

¿Qué piezas de grafito usa un proceso de semiconductores?

Susceptores y portadores de oblea en epitaxia y CVD, y calefactores, crisoles, escudos y soportes en crecimiento de cristal. No dados de prensado, no liners de temple y no pinturas de desmoldeo.

¿El grafito de horno de tratamiento térmico sirve?

Solo si el grado cumple la pureza y la geometría del equipo de proceso. Un liner de temple o un utillaje de carga no es un susceptor ni un calefactor de puller.

¿Maquinan piezas a plano o solo venden bloque?

Ambos. Puede cotizar bloque o blank para maquinado interno, o pieza terminada bajo plano. Indique tolerancias, cantidad y requisito de pureza.

¿Hacen susceptores con recubrimiento de SiC?

El recubrimiento de SiC es una especificación del proceso, no un acabado estándar de catálogo. Se cotiza la pieza de grafito; si el recubrimiento forma parte de la especificación, indíquelo al solicitar.

¿Cómo pedir estas piezas en México?

Use cotización con plano, proceso y atmósfera, o contacto para revisión de grado.

Cotice grafito para semiconductores

Para susceptores, barcos o componentes de crecimiento de cristal, solicite cotización o escriba a contacto con plano y condiciones de proceso.